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单晶硅谐振式变送器的特点

时间:2014-10-08 15:18:54 作者:横河eja变送器 点击:

EJA变送器与罗斯蒙特变送器虽然都是世界一流的变送器品牌,但是它们采用的传感器技术却完全不一样,电容式压力传感器是一种比较传统的测量技术,而单晶硅谐振式传感器是一种新的传感器技术,目前EJA变送器的精度与罗斯蒙特变送器的精度差不多,是什么让EJA变送器能够与罗斯蒙特变送器站在一起呢?这就不得不提到单晶硅谐振式变送器的特点了。

下面总结一下几种常用的压力传感器类别

1、电位器式,这种传感器结构简单,精度高、重量轻、性能稳定,但是要求输入能量大、电刷与电阻元件之间容易磨损。
2、应变式传感器,这种常见的有丝式电阻应变片和箔式电阻应变片两种,拥有分辨力高、误差较小、尺寸小、重量轻、测量范围大,既可测静态也可测快速交变应里,具有电气测量的一切优点。
3、霍尔式传感器,特点是可以测量任意波形的电流和电压,精度高,在工作温度区内精度优于1%,该精度适合于任何波形的测量。需要注意的是霍尔传感器具有较强的抗外磁场干扰能力,但是为了获得较高的测量准确度,要采用调整模块方向或在模块上加罩一个抗磁场的金属屏蔽罩。
4、气膜式传感器,这种传感器精度一般,而且安装复杂且维护困难。
5、压电式传感器,结构简单、体积小、质量小、功耗小、寿命长、特别是具有良好的动态特性,因此合适有很宽频带的周期作用力和高速变化的冲击力。
6、压阻式传感器的灵敏度比金属丝式应变片的灵敏度高,其精度好,而且响应频率好,工作可靠。缺点是受温度影响较大,应进行温度补偿压阻效应是物质受外力作用发生变形时,其电阻率发生变化的现象。
7、电容式传感器,高阻抗小功率、温度稳定性好、结构简单、适应性强、动态响应好、可以实现非接触测量,缺点就是输出阻抗高,负载能力差,寄生电容影响大,罗斯蒙特就是用的这种技术。
8、谐振式传感器,横河EJA变送器采用的就是这种技术,优点是体积小、重量轻、结构紧凑、分辨率高、精度高以及便于数据传输、处理和存储等。


特别是微机械处理单晶硅,可以提高稳定性和再现性,消除滞后现象,温度的影响是其他硅技术(10 ppm/℃)的十分之一弱,因此即使是条件最苛刻的过程应用中都可以确保出色的稳定性。相比模拟传感器,硅谐振传感器输出可以产生更高的信噪比。硅谐振传感器的输出至少是其前任产品压阻式硅传感器的四倍。温度和静压产生的误差在整体输出中可忽略不计。 横河电机DPharp压力变送器和MT100/200数字压力计中应用了这一先进的传感器技术。

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